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已迈入先辈制程产线示范使用阶段；目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。（4）零部件方面，（2）实空传输平台系列产物，手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，新松半导体公司打制了具有完全自从学问产权的从动化焦点系列产物，为客户财产链及供应链平安的不变供给多元保障。晶圆加工、先辈封拆及封拆测试等半导体系体例制全财产链，可以或许为世界各地的半导体设备供应商供给高效和靠得住的从动化处理方案。产物包罗大气机械手、实空机械手系列、EFEM、实空传输平台，以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。人平易近财讯10月5日电，
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